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Qual é a classe geral de salas limpas modulares em fábricas de semicondutores?

As salas limpas modulares das fábricas de semicondutores são concebidas para satisfazer normas de limpeza do ar rigorosas, ditadas pelos processos de fabrico específicos,com um diâmetro superior a 50 mm,Os níveis mais comuns são os seguintes:

1. Classe ISO 4 (equivalente à classe Fed-Std-209E 10)Este é o nível mais alto normalmente implementado em forma modular. É reservado para as áreas de processo mais críticas, como baías de fotolitografia de nó avançadas, zonas de deposição de filme fino chave,e ambientes de litografia EUV (ultravioleta extrema)Essas áreas exigem contagens de partículas próximas a zero para partículas tão pequenas quanto 0,1 μm. As salas limpas modulares conseguem isso através de conjuntos densos de unidades de filtro de ventilador (FFU) de filtro HEPA ou ULPA no teto,Eles são integrados com controles rigorosos para temperatura, umidade e vibração.

2. Classe ISO 5 (Classe 100)A maioria das salas limpas modulares para processos como difusão, gravação, implantação de íons,e planarização química mecânica (CMP) na lógica convencional e fábricas de memória são construídos para ISO 5. Fornecem um ambiente controlado onde a contagem de partículas ≥ 0,5 μm é limitada a 3.520 por metro cúbico.perseguição de utilidade, e retornar plenos de ar.

3. Classe ISO 6 (classe 1.000): Estes são geralmente utilizados para zonas ligeiramente menos críticas, tais como certas zonas de metrologia, algumas linhas de montagem e embalagem, estações de inspecção de wafers,e corredores de transferência de materiais limpos (AMHS)São também adequados para a produção de semicondutores de potência ou dispositivos em nós de processo maduros.

4. Classe ISO 7 (classe 10.000) e classe ISO 8 (classe 100.000): As salas limpas modulares nestes níveis têm funções de apoio e auxiliares.e áreas de preparação de carregamento/descarregamento de wafersAgem como zonas tampão para impedir que a contaminação chegue ao núcleo da fábrica de classe superior.