notícias da empresa sobre Quais são as características das salas limpas modulares em fábricas de semicondutores？

As salas limpas modulares são projetadas com uma lógica de "bloco de construção", permitindo que as fábricas de semicondutores adaptem o layout do espaço de acordo com requisitos específicos do processo.

Por exemplo, as áreas para fotolitografia, gravação e embalagem podem ser configuradas com diferentes níveis de limpeza (de ISO 1 a ISO 9) de forma independente.

Esta flexibilidade elimina a necessidade de reconstrução em larga escala na modernização das linhas de produção, reduzindo significativamente o tempo de inatividade.

Os painéis modulares, geralmente feitos de liga de alumínio ou aço galvanizado, podem ser montados e desmontados rapidamente,apoiar a rápida expansão ou adaptação das áreas de salas limpas à medida que as escalas de produção mudam.

Cada unidade modular de sala limpa é projetada com sistemas de vedação integrados, incluindo juntas com juntas e controles de diferencial de pressão, para evitar a contaminação cruzada entre zonas.

Os sistemas de HVAC também são modularizados, com unidades de manuseio de ar (AHUs) dedicadas para cada seção, garantindo um controle preciso da temperatura (± 0,5 ° C), umidade (± 2%) e contagem de partículas.

Os filtros de ar de partículas de alta eficiência (HEPA) ou de ar de penetração ultra-baixa (ULPA) estão incorporados nos painéis de teto e parede,fornecendo um fluxo de ar laminar unidirecional que minimiza o acúmulo de partículas em wafers.

Além disso, as salas limpas modulares dispõem de sistemas integrados de drenagem do piso e gestão de resíduos, contendo materiais perigosos dentro de zonas específicas para evitar a disseminação de contaminantes.