O sistema de filtragem numa sala limpa de semicondutores é um equipamento fundamental para manter o ambiente interno limpo e livre de poeira.A fim de assegurar o funcionamento eficaz do sistema de filtragem e prolongar a sua vida útil, temos de tomar uma série de medidas de manutenção e manutenção.
Limpeza regular do filtro: o filtro na sala limpa de semicondutores é o componente central para garantir a limpeza do ar,Portanto, o filtro deve ser limpo ou substituído regularmente para evitar que poeira e partículas entupam o material do filtro e afetem o seu efeito de filtragem.Ao limpar o filtro, devem ser utilizados produtos e ferramentas especiais para evitar danos ao material do filtro.
A condição de funcionamento do sistema de escape afecta directamente a qualidade do ar da sala limpa.A inspecção inclui ventilador, conduto de ar, porta de escape e outros componentes, se for encontrado danificado ou com mau funcionamento, deve ser reparado ou substituído a tempo.
Por meio da instalação de equipamento de monitorização da qualidade do ar, a qualidade do ar da sala limpa de semicondutores pode ser monitorizada em tempo real,para que os problemas de qualidade do ar possam ser detectados em tempo útil e as medidas correspondentes possam ser tomadasPor exemplo, quando a concentração de partículas no ar excede o valor definido,O filtro de reserva pode ser activado ou o número de tempos de limpeza pode ser aumentado para reduzir a concentração de partículas.
Os consumíveis e os acessórios nas salas limpas de semicondutores, tais como bonés e luvas cirúrgicas, devem ser substituídos periodicamente para assegurar a sua limpeza e esterilização.Ao substituir consumíveis e acessórios, deve ter- se cuidado de selecionar produtos que cumpram os requisitos e seguem os procedimentos de funcionamento prescritos.
Os operadores de salas limpas de semicondutores devem receber formação sistemática para compreender o princípio, o funcionamento e os métodos de manutenção do sistema de filtragem,e melhorar as competências de exploração e a conscientização em matéria de segurançaAtravés da formação, os operadores podem compreender melhor as condições de funcionamento do sistema de filtragem, a detecção e a resolução oportunas dos problemas.
De acordo com a situação real da sala de limpeza dos semicondutores, elaborar um plano de manutenção pormenorizado do sistema de filtragem, incluindo o ciclo de limpeza, o ciclo de inspecção, o ciclo de substituição, etc.A manutenção em conformidade com o plano pode assegurar o funcionamento estável a longo prazo do sistema de filtragem e o efeito de filtragem.
Estabelecer registos e registos de manutenção do sistema de filtragem para registrar o tempo, o conteúdo, o pessoal e outras informações de cada manutenção.pode compreender o estado de funcionamento do sistema de filtragem e os problemas existentes, e encontrá-los e resolvê-los a tempo.
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